特許
J-GLOBAL ID:200903066082230536
垂直方向に配向したシリンダー構造を有するブロック共重合体膜
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
青山 葆
, 柴田 康夫
, 森住 憲一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-123585
公開番号(公開出願番号):特開2006-299106
出願日: 2005年04月21日
公開日(公表日): 2006年11月02日
要約:
【課題】 膜表面に対して垂直方向に配向し、かつ配向角度の乱れの小さなシリンダー構造を有するブロック共重合体膜を簡便に製造する方法を提供する。【解決手段】 本発明は、膜厚が0.1μm〜50mmであって、膜表面に対して垂直方向に配向し、かつ2次元小角X線散乱測定による半値半幅によって規定される、垂直配向に対する配向角度の乱れの絶対値が9°未満であるシリンダー構造を有するブロック共重合体膜及びその製造方法に関する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
膜厚が0.1μm〜50mmであって、膜表面に対して垂直方向に配向し、かつ2次元小角X線散乱測定による半値半幅によって規定される、垂直配向に対する配向角度の乱れの絶対値が9°未満であるシリンダー構造を有するブロック共重合体膜。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
4F071AA12X
, 4F071AA22X
, 4F071AA75
, 4F071AF41
, 4F071BA02
, 4F071BB02
, 4F071BC01
, 4F071BC17
引用特許:
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (1件)
前のページに戻る