洗浄除去用溶剤

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 青山正和 , 鈴木三義 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-132036
公開番号（公開出願番号）：特開2006-085140
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】カラーフィルターやブラックマトリックスパターンを形成するための顔料分散型感光性樹脂組成物の洗浄用として特に優れた洗浄除去用溶剤を提供する。【解決手段】洗浄除去溶剤として、ハンセン(Hansen)溶解パラメータにおける水素結合力パラメータ(δH)が5〜10の溶剤を用いる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ハンセン(Hansen)溶解パラメータにおける水素結合力パラメータ(δH)が5〜10であることを特徴とする、感光性樹脂組成物の洗浄除去用溶剤。

IPC (7件)：

G03F 7/26 , C11D 7/26 , G02B 5/20 , G03F 7/16 , G03F 7/38 , H01L 21/304 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F7/26 , C11D7/26 , G02B5/20 101 , G03F7/16 , G03F7/38 501 , H01L21/304 647A , H01L21/304 647B , H01L21/30 577

Fターム (29件)：

2H025AA00 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CC11 , 2H025EA04 , 2H025EA10 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BB01 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 2H096AA23 , 2H096AA30 , 2H096LA02 , 2H096LA30 , 4H003DA15 , 4H003DB03 , 4H003DC03 , 4H003ED04 , 4H003ED29 , 4H003FA12 , 4H003FA21 , 4H003FA24 , 5F046MA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

レジスト剥離用溶剤、カラーフィルターの製造方法および液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-305942 出願人：東レ株式会社
着色組成物用洗浄液
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-082405 出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (11件)

ポジ型フォトレジスト用剥離液および半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-105186 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社, 関東化学株式会社
着色組成物用洗浄液
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-082405 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物除去液
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-337653 出願人：昭和電工株式会社

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