感光性組成物除去液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 蛯谷厚志 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-337653
公開番号（公開出願番号）：特開2005-202363
出願日： 2004年11月22日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】ガラス基板や半導体ウエーハなどに感光性組成物皮膜を形成する工程において、基板の周辺部、縁辺部または裏面部に付着した未硬化の感光性組成物皮膜の除去、または装置部材や器具の表面に付着した未硬化の感光性組成物の除去に有効な除去液を提供する。【解決手段】未硬化の感光性組成物の除去に用いられる除去液であって、少なくとも1種の炭素数が9以上の芳香族炭化水素を1〜80質量%含有する感光性組成物除去液。該感光性組成物除去液はさらに非プロトン性極性溶剤および/または非プロトン性極性溶剤以外のその他の溶剤を含有する。該感光性組成物除去液は、特に、顔料を含有する感光性組成物除去に好適に使用される。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

未硬化の感光性組成物の除去に用いられる除去液であって、少なくとも1種の炭素数が9以上の芳香族炭化水素を1〜80質量%含有する感光性組成物除去液。

IPC (3件)：

G03F7/42 , G02B5/20 , H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/42 , G02B5/20 101 , H01L21/30 572B

Fターム (13件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096AA30 , 2H096BA05 , 2H096DA10 , 2H096LA03 , 5F046JA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公平4-49938号公報
着色組成物用洗浄液
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-082405 出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (12件)

特開昭61-002152
洗浄液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-038933 出願人：株式会社ジャパンエナジー
洗浄除去用溶剤
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-132036 出願人：東京応化工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

化学大辞典, 19891020, 第1版, 589-591,2067
ボルハルト・ショアー現代有機化学(上), 20011220, 245-246

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