特許
J-GLOBAL ID:200903066262878852
光変調器の製造方法及び光変調器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田村 爾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-081997
公開番号(公開出願番号):特開2006-267224
出願日: 2005年03月22日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 電極の形状を精度良く形成でき、しかも、複雑な電極形状に対しても、製造工程を複雑化させること無く、効率よく電極を形成することが可能な、光変調器の製造方法を提供すること。【解決手段】 電気光学効果を有する材料で形成された基板1と、該基板の表面又は裏面に形成された光導波路2と、該基板の表面に形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極11とを含む光変調器の製造方法において、変調電極形状に対応する凹部を有する型枠10に、電極材料11を充填固化し、該型枠を導波路を形成した基板表面に接合して、基板上に変調電極を形成することを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
電気光学効果を有する材料で形成された基板と、該基板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該基板の表面に形成され、該光導波路内を通過する光を変調するための変調電極とを含む光変調器の製造方法において、
変調電極形状に対応する凹部を有する型枠に、電極材料を充填固化し、
該型枠を導波路を形成した基板表面に接合して、基板上に変調電極を形成することを特徴とする光変調器の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079DA03
, 2H079DA22
, 2H079EA05
, 2H079EB05
, 2H079JA04
引用特許: