金属シリコンからのボロン除去方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203814
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、太陽電池用シリコンの製造に際し、ボロンの除去を従来より一層迅速に行える金属シリコンの精製方法を提供することを目的としている。【解決手段】溶融状態にある金属シリコンの溶湯面に、水蒸気を付加したアルゴン・ガスからなるプラズマ・ガスを吹き付けて、該金属シリコンが含有するボロンを除去するに際し、上記プラズマ・ガスに,さらに還元性ガスを付加する。

請求項（抜粋）：

溶融状態にある金属シリコンの溶湯面に、水蒸気を付加したアルゴン又はヘリウム、又はこれらの混合ガスからなるプラズマ・ガスを吹き付けて、該金属シリコンが含有するボロンを除去するに際し、上記プラズマ・ガスに,さらに還元性ガスを付加することを特徴とする金属シリコンからのボロン除去方法。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-228414
特開平4-338108
シリコンの精製方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-305932 出願人：川崎製鉄株式会社

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