特許
J-GLOBAL ID：200903066429552482
カードホルダ及びプローブカードの固定機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-175475
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181284
出願日： 2004年06月14日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 ウエハWの高温検査を行なう場合には、プローブカード5はホルダー8の内周縁部に固定されているため、プローブカード5は径方向外側へ伸びず、図10の(a)に矢印で示すように径方向内側へ伸びて下方へ湾曲する。また、ホルダー8は外周縁部がヘッドプレート7に固定されているため、ホルダー8は矢印で示すように径方向内側へ伸び、プローブカード5を更に下方へ湾曲させる。この結果、プローブピン5Aが垂直下方に変位し、電極パッド及びその下地層を傷つけ、検査不良を招くという課題があった。【解決手段】 本発明のカードホルダ13は、プローブカード11の複数のプローブ11Aが臨む開口部13Dが形成された保持部13Aを有し、プローブカード11をプローブ装置に取り付ける際に用いられるもので、開口部13Dの開口端から外周端に向けて延びる切り込み部13Eを保持部13Aの周方向に所定間隔を隔てて複数設けてある。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被検査体と電気的に接触するプローブカードの複数のプローブが臨む開口部が形成された支承部を有し、上記プローブカードをプローブ装置に取り付ける際に用いられるカードホルダにおいて、上記開口部の開口端から外周端に向けて延びる切り込み部を上記支承部の周方向に所定間隔を隔てて複数設けたことを特徴とするカードホルダ。
IPC (3件)：
G01R1/06
, G01R1/073
, H01L21/66
G01R1/06 D
, G01R1/073 E
, H01L21/66 B
2G011AA17
, 2G011AB04
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AB10
, 2G011AC06
, 2G011AC31
, 2G011AE01
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD06
, 4M106DD10
