特許

J-GLOBAL ID：200903066434609476

走査型プローブ顕微鏡及び光学顕微鏡

発明者： 安藤 敏夫 ,  林 美明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111744
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304420
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】プローブを試料に対して高精度に位置決め可能な走査型プローブ顕微鏡及び光学顕微鏡を提供する。【構成】蛍光処理が施されたカンチレバー19と、このカンチレバーを用いてステージ23上の試料25に対するSPM測定を行うSPM装置27と、所定波長の励起光を出射可能な照明装置35とを備えており、この照明装置からの励起光によって、カンチレバー及び試料から所定の蛍光像が発生して、接眼レンズ51の観察視野内に表示される。

請求項（抜粋）：

試料に対してプローブを走査させることによって、前記試料の表面情報を観察又は測定する走査型プローブ顕微鏡であって、蛍光標識されたプローブを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 101

FI (2件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 101 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 走査型近視野顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-053810   出願人：株式会社ニコン
• 微小偏光光源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-156694   出願人：松下電器産業株式会社
• 蛍光走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-188065   出願人：工業技術院長, オリンパス光学工業株式会社