特許
J-GLOBAL ID：200903066443417083
極狭帯域レーザ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153064
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008431
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 極狭帯域のエキシマレーザを提供する。【解決手段】 この極狭帯域幅は、レーザの後方に配置されたライン狭め要素と組合わせて、出力カップラとしてエタロンを使用することによって達成される。好ましい実施例は、1000Hzにおいて、 95 %インテグラル帯域幅で 1.5pmより狭い 10 mJのレーザパルスを発生することができる。
請求項（抜粋）：
極狭帯域のエキシマレーザであって、A.(1)2つの細長い電極、(2)少なくとも1つのプレ・イオナイザ、及び(3)レーザガス、を収容しているレーザ室と、B.上記レーザ室内で生成された光の一部分を受けるように位置決めされ、そのスペルトルを狭めてラインを狭めた光を発生し、それを上記レーザ室へ戻すライン狭めユニットと、C.エタロンからなり、上記レーザ室内で生成された光の一部分を反射し、且つ上記光の一部分を出力するように位置決めされている出力カップラと、を備えていることを特徴とするエキシマレーザ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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特開平3-082183
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特開平1-179477
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特開平3-262183
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