特許
J-GLOBAL ID：200903000885601575
荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270733
公開番号（公開出願番号）：特開2005-026192
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】 適正なブライトネス・コントラストを持った画像データを得るための検出器パラメーター及びバイアスの調整を、少数回の検出器パラメーター値及びバイアス値の変更によって完了する。【解決手段】 画像データから抽出した2つの輝度値と、その画像データを得たときの検出器パラメーター値及びバイアス値の値から、検出器11の特性を反映した検出器パラメーター推定式と普遍的なバイアス推定式によって検出器パラメーターの適正値とバイアス適正値を算出し、自動的にそれらを検出器パラメータ調整電源14とバイアス調整電源15の新たな設定値とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを試料上に走査する手段と、
荷電粒子ビーム照射によって試料から発生する電子を検出する検出器と、
前記検出器の入出力比に影響を与えるパラメーターPを制御する手段と、
前記検出器の出力値とバイアス値Bを線形結合した値を輝度データとして明暗画像データ化する手段と、
画像全体もしくはその一部の輝度データから、輝度の最大値もしくはその近傍の数値である第1の輝度値pと、最小値もしくはその近傍の数値である第2の輝度値bを抽出する手段と、
poを予め設定されている第1の輝度値の基準値、boを予め設定されている第2の輝度値の基準値、f(x)とφ[x]を互いに逆関数の関係にある関数、βを定数とするとき、現在の前記パラメーター値P及び前記バイアス値Bを次式を満たす新たな設定値Po及びBoに設定し直すブライトネス・コントラスト調整部とを備えることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
Po=φ[[(po-bo)/(p-b)]f(P)]
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J37/22 502E
, H01J37/22 502F
, H01J37/317 D
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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