特許
J-GLOBAL ID:200903066495830612
除電装置および除電方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-337275
公開番号(公開出願番号):特開平11-238595
出願日: 1998年11月27日
公開日(公表日): 1999年08月31日
要約:
【要約】【課題】簡単な構成で、省スペース化をはかることで適用可能な対象物および環境の範囲を広くし、実質的に高い除電能力を得る。【解決手段】少なくとも1つ以上の放電電極をもち、前記放電電極周囲の気体雰囲気条件を大気雰囲気におけるよりも放電しやすい気体雰囲気条件に調整するための雰囲気調整機構を有することを特徴とする除電装置、およびこれを用いた除電方法、これらを用いた蒸着シートの製造装置。
請求項(抜粋):
帯電物体の除電装置であって、少なくとも1つの放電電極と、放電電極の周囲の気体雰囲気条件を大気雰囲気におけるよりも放電しやすい気体雰囲気条件に調整するための雰囲気調整機構とを備えていることを特徴とする除電装置。
IPC (5件):
H05F 3/04
, C23C 14/24
, C23C 14/56
, H01T 19/04
, H01T 23/00
FI (7件):
H05F 3/04 B
, H05F 3/04 D
, H05F 3/04 J
, C23C 14/24 T
, C23C 14/56 A
, H01T 19/04
, H01T 23/00
引用特許:
審査官引用 (5件)
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電子ビーム式連続蒸着装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-191617
出願人:凸版印刷株式会社
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特開昭62-056567
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静電気の除去方法およびその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-018749
出願人:セイコーエプソン株式会社
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特開平2-129900
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薄膜製造方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-109230
出願人:花王株式会社
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