特許
J-GLOBAL ID:200903066592439456
光偏向器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (8件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-328814
公開番号(公開出願番号):特開2005-189825
出願日: 2004年11月12日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】二本の軸周りの独立した駆動が可能な二次元光偏向器を提供する。【解決手段】磁界内に配置される可動板ユニットは、内側可動板112と外側可動板116と二本の内側トーションバー114aと114bと支持部120と二本の外側トーションバー118aと118bとを有している。可動板ユニット110は、さらに、内側可動板112を通る二本の内側配線130aと130bを有している。第一内側配線130aは第一内側駆動配線部132aと二本の第一内側引き出し配線部134aと136aを有し、第二内側配線130bは第二内側駆動配線部132bと二本の第二内側引き出し配線部134bと136bを有している。二本の第一内側引き出し配線部134aと136aは第二軸A2を基準にしてほぼ線対称に位置し、二本の第二内側引き出し配線部134bと136bは第二軸A2を基準にしてほぼ線対称に位置している。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
電磁駆動型の光偏向器であり、
磁界を発生させる磁石ユニットと、
磁界内に配置される可動板ユニットとを有しており、
可動板ユニットは、反射面を有する内側可動板と、内側可動板の外側に位置する外側可動板と、内側可動板と外側可動板を連結している二本の内側トーションバーと、外側可動板の外側に位置する支持部と、外側可動板と支持部を連結している二本の外側トーションバーとを有し、内側トーションバーは、第一軸に沿って延びていて、第一軸の周りにねじり変形可能で、内側可動板が外側可動板に対して第一軸の周りに傾斜することを可能にしており、外側トーションバーは、第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って延びていて、第二軸の周りにねじり変形可能で、外側可動板が支持部に対して第二軸の周りに傾斜することを可能にしており、
可動板ユニットは、さらに、内側可動板と内側トーションバーと外側可動板と外側トーションバーと支持部を延びている二本の内側配線を有しており、内側配線の一方は外側トーションバーの一方を通り、内側配線の他方は外側トーションバーの他方を通っており、二本の内側配線は、それぞれ、内側可動板の縁に沿って延びている内側駆動配線部と、内側駆動配線部の両端から延びている二本の内側引き出し配線部とを有しており、二つの内側駆動配線部は、第一軸を基準にして、ほぼ線対称に位置しており、それぞれの内側駆動配線部の両端から延びている二本の内側引き出し配線部は、第二軸を基準にして、ほぼ線対称に位置しており、二本の内側駆動配線部には互いに同じ方向の電流が供給される、光偏向器。
IPC (5件):
G02B26/10
, B41J2/44
, B81B3/00
, G02B26/08
, H04N1/036
FI (6件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, B81B3/00
, G02B26/08 E
, H04N1/036 Z
, B41J3/00 D
Fターム (16件):
2C362BA17
, 2C362BA18
, 2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AC05
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H045AB13
, 2H045AB16
, 2H045AB62
, 2H045AB73
, 2H045BA12
, 5C051AA02
, 5C051DB02
, 5C051DB24
, 5C051DC07
引用特許:
出願人引用 (5件)
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米国特許第6,388,789号明細書
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米国特許第6,404,313号明細書
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プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-320524
出願人:日本信号株式会社, 江刺正喜
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