特許
J-GLOBAL ID：200903066622723030

保持パッドおよび保持パッドの製造方法

発明者：
兵頭 栄利

兵頭 栄利 について

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広田 幸史

広田 幸史 について

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実谷 将人

実谷 将人 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-133636
公開番号（公開出願番号）：特開2008-284662
出願日： 2007年05月21日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】被研磨物を確実に保持することができ、寿命を向上させることができる保持パッドを提供する。【解決手段】保持パッド1は、ポリウレタン樹脂で形成されたフィルム2を有している。フィルム2は、被研磨物に当接する保持面Pを有している。フィルム2には、湿式成膜により、保持面P側に、微多孔が形成され平坦性を有するスキン層4が形成されている。フィルム2の保持面Pと反対の面側には、フィルム2の厚さが一様となるようにスライス処理が施されている。スライス処理時には、湿式成膜後のポリウレタン樹脂の幅方向の長さが固定され、長手方向に張力がかけられる。スライス処理された面側に、PETフィルム製の基材6aを有する両面テープ6が貼り合わされている。スライス処理された面が平滑となり、切り屑等も生じない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
湿式成膜で表面層が形成された軟質ポリウレタンフィルムと、基材とを有する保持パッドにおいて、前記フィルムは、厚さが一様となるように前記表面層と反対の面側がスライス処理されており、該スライス処理された面が前記基材と貼り合わされていることを特徴とする保持パッド。
IPC (1件)：
B24B 37/04
FI (1件)：
B24B37/04 L
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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