特許
J-GLOBAL ID：200903050019125508

保持パッド及び保持パッドの製造方法

発明者：
岩尾 智浩

岩尾 智浩 について

, 
兵頭 栄利

兵頭 栄利 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-250572
公開番号（公開出願番号）：特開2006-062059
出願日： 2004年08月30日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】被研磨物を確実に保持することができ、加工表面の平坦性を向上させることができる保持パッドを提供する。【解決手段】バックパッドは、100%モジュラスが10MPaのポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシート2を有している。ポリウレタンシート2には、保持面P側に緻密な発泡が形成されたスキン層4が形成されている。ポリウレタンシート2は、保持面Pの裏面Q側が、ポリウレタンシート2の厚さがほぼ一様となるようにバフ処理されている。バフ処理では、成膜時の成膜基材43を剥離後、保持面Pの表面に圧接ローラ65の平坦な表面を圧接しながら、裏面Q側に出現した凹凸が除去される。バフ処理された裏面Q’側には、PET製フィルムの支持層が貼り合わされている。ポリウレタンシート2の厚さがほぼ一様で、スキン層4がそのまま残される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
軟質プラスチックフォームの一面側に発泡表面層が形成されており、被研磨物を保持するための定盤に前記軟質プラスチックフォームの他面側を装着させて前記一面側が前記被研磨物に当接する保持パッドにおいて、前記軟質プラスチックフォームの他面側が該軟質プラスチックフォームの厚さがほぼ一様となるようにバフ処理されていることを特徴とする保持パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  C08J 5/14
FI (2件)：
B24B37/00 C ,  C08J5/14
Fターム (13件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071AF20 ,  4F071AF27 ,  4F071AF28 ,  4F071AG24 ,  4F071AH12 ,  4F071AH17 ,  4F071DA19 ,  4F071DA20
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
  • 被研磨加工物の保持材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-034579   出願人：ニッタ・ハース株式会社, 平松産業株式会社
  • 研磨用パッド
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-285400   出願人：ロデール・ニッタ株式会社
  • 研磨パッド
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-265998   出願人：帝人株式会社
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