静電容量型超音波振動子とその製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-140858
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319712
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】メンブレンの中心部近傍に弾性変形しにくい領域を構成し、メンブレン周囲に弾性変形しやすい領域を構成し、中心近傍は電極間の電束が電極に垂直になる静電容量型超音波振動子を提供する。【解決手段】シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第1の電極と、前記第1の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第2の電極と、前記第2の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部とからなる振動子セルから構成された振動子エレメントを集積してなる静電容量型超音波振動子であって、前記メンブレンの端部が、該メンブレンの中央部よりも相対的に変形しやすくする構造を有する静電容量型超音波振動子により、上記課題の解決を図る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第1の電極と、前記第1の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第2の電極と、前記第2の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部とからなる振動子セルから構成された振動子エレメントを集積してなる静電容量型超音波振動子であって、前記メンブレンの端部が、該メンブレンの中央部よりも相対的に変形しやすくする構造を有することを特徴とする静電容量型超音波振動子。

IPC (3件)：

H04R 19/00 , A61B 8/12 , H04R 31/00

FI (3件)：

H04R19/00 330 , A61B8/12 , H04R31/00 330

Fターム (13件)：

4C601EE09 , 4C601EE10 , 4C601FE01 , 4C601GA03 , 4C601GB02 , 4C601GB04 , 4C601GB14 , 4C601GB19 , 4C601GB32 , 4C601GB41 , 4C601GB45 , 5D019DD01 , 5D019HH01

引用特許：

出願人引用 (3件)

容量性マイクロマシン超音波振動子
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-511146 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
カプセル超音波内視鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-148308 出願人：オリンパス株式会社
カプセル超音波内視鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-148307 出願人：オリンパス株式会社

審査官引用 (6件)

超音波診断プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-148305 出願人：オリンパス株式会社
特開昭58-024300
超音波治療装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-072474 出願人：株式会社島津製作所

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