特許

J-GLOBAL ID：200903066661901531

磁気抵抗効果膜、スピンバルブ再生ヘッドおよびその製造方法

発明者： 野間 賢二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-162020
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014578
出願日： 2002年06月03日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】狭いトラック幅と優れた安定性を達成できるスピンバルブ再生ヘッドを製造できる磁気抵抗効果膜を提供する。【解決手段】少なくとも固定磁性層32、非磁性層33、自由磁性層34がこの順に積層されている磁気抵抗効果膜20であって、自由磁性層34上に、該自由磁性層34よりも低抵抗率の非磁性導電層35と、スパッタ率がタンタルよりも大きく銅よりも小さい材料からなるエッチストップ層36と、耐酸化性金属層37とがこの順に積層されていることを特徴とする。【選択図】 図10

請求項（抜粋）：

少なくとも固定磁性層、非磁性層、自由磁性層がこの順に積層されている磁気抵抗効果膜であって、 前記自由磁性層上に、該自由磁性層よりも低抵抗率の非磁性導電層と、スパッタ率がタンタルよりも大きく銅よりも小さい材料からなるエッチストップ層と、耐酸化性金属層とがこの順に積層されていることを特徴とする磁気抵抗効果膜。

IPC (8件)：

H01L43/08 ,  G11B5/39 ,  H01F10/16 ,  H01F10/30 ,  H01F10/32 ,  H01F41/18 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

FI (8件)：

H01L43/08 Z ,  G11B5/39 ,  H01F10/16 ,  H01F10/30 ,  H01F10/32 ,  H01F41/18 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

Fターム (11件)：

5D034BA03 ,  5D034CA06 ,  5E049AA01 ,  5E049AA07 ,  5E049AA09 ,  5E049AC00 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12 ,  5E049CB02 ,  5E049DB12 ,  5E049GC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-101416   出願人：株式会社東芝
• 磁気抵抗効果ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-165950   出願人：ティーディーケイ株式会社
• スピンバルブ型薄膜磁気素子及び薄膜磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-345433   出願人：アルプス電気株式会社
• 磁気抵抗効果素子並びにこれを用いた磁気抵抗効果センサ、磁気抵抗検出システム及び磁気記憶システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-123797   出願人：日本電気株式会社