電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235002
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082261
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【目的】本発明は、搭載、取外し、真空中での移動が容易で、高最大計数率、大検出立体角で、高信号雑音比のX線検出器を安価に提供し、同時に、高い2次電子検出感度を達成する。【構成】先端が馬蹄形状で開放端を有した、複数個のX線検出素子を格納したX線検出器を設置し、その先端の開放端の側に2次電子検出器を配置する。【効果】開放端を設けることにより、電子顕微鏡への搭載、取外しが容易になり、2次電子検出器に検出される2次電子量が低減することなくなる。また、複数個のX線検出素子を一つの容器内に格納することにより、検出立体角、かつ、信号雑音比が大きく取れるX線検出器の導入が安価に実現できる。

請求項（抜粋）：

対物レンズにより細く絞られた電子線を対物レンズの先に設置した試料台に固定した試料に照射し、該試料から発生するX線を検出する装置を備えた電子顕微鏡において,前記X線を検出する装置の先端部が、馬蹄形又は、円環の一部を欠いた形状のように開放端を有していることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/252 , G01N 23/225

FI (2件)：

H01J 37/252 , G01N 23/225

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-312199 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開平3-246862
二次荷電粒子検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-269608 出願人：株式会社日立製作所

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