特許
J-GLOBAL ID:200903066812855146
プラズマを形成するための装置および方法ならびに電極
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-235565
公開番号(公開出願番号):特開2005-063973
出願日: 2004年08月12日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】 大気圧でのグロー放電を可能とし得るよう、表面近傍において十分な量の二次電子が存在しなおかつそれら二次電子がごくわずかなエネルギーでもって放出され得るような構成を提供すること。【解決手段】 プラズマを形成するための装置であって、電界を形成してこの電界内にプラズマを形成し得るよう配置された一対の電極(1,2)の間に位置した放電空間(7)を具備してなり、一方の電極(1)が、放電空間に対しての境界面(6)を有している場合に、境界面(6)が、互いに交互的に配置された導電性領域(4)と絶縁性領域(5)とから構成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
プラズマを形成するための装置であって、
電界を形成してこの電界内にプラズマを形成し得るよう配置された少なくとも一対の電極の間に位置した放電空間を具備してなり、前記電極の少なくとも一方が、前記放電空間に対しての境界面を有している場合に、
前記境界面が、互いに交互的に配置された1つまたは複数の導電性領域と1つまたは複数の絶縁性領域とから構成されていることを特徴とする装置。
IPC (3件):
H05H1/24
, B08B6/00
, C23C16/509
FI (3件):
H05H1/24
, B08B6/00
, C23C16/509
Fターム (10件):
3B116AA08
, 3B116AA46
, 3B116BC01
, 3B116CD42
, 3B116CD43
, 4K030FA03
, 4K030JA09
, 4K030JA18
, 4K030KA15
, 4K030KA46
引用特許:
出願人引用 (7件)
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プラズマ表面処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-220795
出願人:新日本製鐵株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
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グロープラズマ放電装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平10-540704
出願人:トラスティーズ・オブ・ザ・スティーブンス・インスティテュート・オブ・テクノロジー
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オゾン発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-039953
出願人:株式会社神戸製鋼所
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審査官引用 (10件)
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プラズマ表面処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-220795
出願人:新日本製鐵株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
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グロープラズマ放電装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平10-540704
出願人:トラスティーズ・オブ・ザ・スティーブンス・インスティテュート・オブ・テクノロジー
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オゾン発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-039953
出願人:株式会社神戸製鋼所
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引用文献:
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