透孔板の検査方法および検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246632
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068412
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】シャドウマスク等の透孔板の透孔の寸法異常に起因した光透過率のムラの良否判別の信頼性を向上させる。【解決手段】シャドウマスクSMの透孔領域SMeの周縁を除く処理対象領域SMe0 に亘って、データ収集のための処理ウィンドSWをその1/2ピッチずつずらしながら縦・横に走査し、その都度、処理ウィンドSWに属する階調データの個々のデータを用いてこれらデータの標準偏差σを求める。そして、走査の都度に求めた総ての標準偏差σを用いて、その平均値σav,最大値σmax,最頻度値σpeakを求める。そして、最大値σmaxと平均値σavとの差の絶対値|σmax-σav|および最大値σmaxと最頻度値σpeakとの差の絶対値|σmax-σpeak|を演算し、これらを提示する。また、これらの差の絶対値に基づいてムラの良否判別を行なう。

請求項（抜粋）：

多数の透孔が概周期的に配列された透孔板について、透孔の寸法異常に起因して生じる光透過率のムラを検査する透孔板の検査方法において、前記透孔板にその一方の主面側から光を照射して前記透孔板を他方の主面側から撮像し、該撮像画像の階調データを求める撮像工程と、前記階調データに属する個々のデータの分布に表われる低周波成分を除去し、前記階調データから規格化データを生成する低周波除去工程と、該規格化データを所定の領域群ごとに走査し、該領域群に属する個々のデータのばらつきの度合いを前記領域群ごとに演算するばらつき演算工程と、前記領域群ごとに求めた前記ばらつきの度合いの最大値と平均値とを演算し、該演算した最大値と平均値との差を提示する提示工程と、を有することを特徴とする透孔板の検査方法。

引用特許：

出願人引用 (4件)

周期性パターンのムラ定量化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-018546 出願人：大日本印刷株式会社
欠陥検出方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-068825 出願人：凸版印刷株式会社
特開平3-202707

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