特許
J-GLOBAL ID：200903066867101701

ステージ装置及び露光装置

発明者：
田中 慶一

田中 慶一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198310
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：
【要約】【課題】 振動の影響を極力低減して、高精度な露光を実現する。【解決手段】 ステージ装置14は、ウエハ室38の気密状態を維持したまま、ウエハ室内に配置されたリニアモータ等から成る駆動装置54の固定子62を外部のフレーム46に連結する反力処理機構を備えている。このため、リニアモータにより、ウエハステージWSTが駆動されると、そのステージの駆動によって固定子に生じる反力が、反力処理機構によってフレームを介して床面に逃がされる。例えば、ウエハ室内が、所定のガス(有機物等を除去した空気を含む)雰囲気に設定されている場合に、その雰囲気を維持した状態で、ウエハステージの駆動反力を外部に逃がすことができる。また、このステージ装置を備えた露光装置では、振動の影響を極力低減して、高精度な露光が可能となる。
請求項（抜粋）：
物体を保持するステージと;前記ステージを気密状態で収納する気密室と;前記ステージに接続された可動子と、該可動子と協働して前記ステージの駆動力を発生する固定子とを有し、前記気密室内に配置された駆動装置と;前記ステージの駆動によって前記固定子に生じる反力を、前記気密室に少なくとも一部が接続された伝達部材を介して前記気密室の外部に逃がす反力処理機構と;を備えるステージ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 503 F
Fターム (18件)：
2H097CA13 ,  2H097CA16 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA55 ,  5F031HA57 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F046AA23 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046DA27
引用特許：
審査官引用 (6件)
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