特許
J-GLOBAL ID：200903066868679138
試料の高さ情報取得方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-165435
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005055
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】荷電粒子線照射方向の距離を精度よく高速に求める。【解決手段】焦点位置の異なる複数枚の試料像の平面上の位置が同じ任意部分の合焦度評価値を複数個用いてフィッティング補間処理を行い、得られた曲線Pa,Pbの最大値(最小値)から合焦位置検出し、高さ差を求める。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
試料像を用いて試料の高さ情報を取得する方法において、
荷電粒子線を試料上で走査し、試料から放出された二次粒子を検出して試料像を取得するステップと、
前記荷電粒子線の焦点位置を変更しながら前記ステップを反復し、各焦点位置において取得した試料像の少なくとも2箇所の領域の合焦度を求めるステップと、
前記各領域における焦点位置と合焦度の関係を用いて当該領域間の電子線照射方向の距離を算出するステップと
を含むことを特徴とする試料の高さ情報取得方法。
IPC (6件)：
H01J37/28
, G01B15/00
, H01J37/147
, H01J37/21
, H01J37/22
, H01L21/027
H01J37/28 B
, G01B15/00 B
, H01J37/147 B
, H01J37/21 B
, H01J37/22 502H
, H01L21/30 541F
2F067AA06
, 2F067AA23
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067NN10
, 2F067RR24
, 2F067RR30
, 2F067RR35
, 2F067RR44
, 5C033FF04
, 5C033MM05
, 5C033UU04
, 5C033UU05
, 5F056CB35
審査官引用 (8件)
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荷電粒子線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-201443
出願人：株式会社日立製作所
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荷電粒子線装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-333534
出願人：株式会社日立製作所
-
自動焦点制御方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-026519
出願人：株式会社日立製作所
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