特許
J-GLOBAL ID：200903067083269734
マイクロミラー素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151549
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344785
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 ミラー面の数の増加に伴う素子の大型化を抑制可能なマイクロミラー素子を提供すること。【解決手段】 マイクロミラー素子X1において、フレーム部130と、ミラー部を有する可動部110,120と、フレーム部130および可動部110,120を連結するトーションバー150とが形成されているマイクロミラー基板100と、配線パターン210が形成されている配線基板200と、マイクロミラー基板100および配線基板200を離隔させつつフレーム部130および配線パターン210を電気的に接続するための導電スペーサ300とを備えることとする。
請求項（抜粋）：
フレーム部と、ミラー部を有する可動部と、前記フレーム部および前記可動部を連結するトーションバーとが形成されているマイクロミラー基板と、配線パターンが形成されている配線基板と、前記マイクロミラー基板および前記配線基板を離隔させつつ前記フレーム部および前記配線パターンを電気的に接続するための導電スペーサと、を備えることを特徴とする、マイクロミラー素子。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, H04Q 3/52
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, H04Q 3/52 B
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AB15
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ03
, 2H041AZ08
, 5K069AA16
, 5K069DB36
, 5K069DC08
, 5K069EA27
, 5K069EA30
