特許
J-GLOBAL ID：200903067621144831
研磨装置の研磨面洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047694
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237208
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液の使用量が少なくて済み、且つ研磨テーブルの研磨面から研磨残さを効果的に除去できる研磨装置の研磨面洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。【解決手段】 研磨テーブルの研磨面に研磨対象物を押し付け、研磨面と研磨対象物の相対運動により該研磨対象物を研磨する研磨装置の該研磨面に噴射ノズルから洗浄液を噴射し、該研磨面を洗浄する研磨装置の研磨面洗浄装置であって、噴射ノズルに洗浄液と気体を混合して噴射する混合噴射ノズル7-1〜7-4を用い、該混合噴射ノズル7-1〜7-4から研磨面に洗浄液と気体の混合流体を噴射して研磨面を洗浄する。
請求項（抜粋）：
研磨テーブルの研磨面に研磨対象物を押し付け、研磨面と研磨対象物の相対運動により該研磨対象物を研磨する研磨装置の該研磨面に洗浄液を噴射し、該研磨面を洗浄する研磨装置の研磨面洗浄方法であって、前記洗浄液に洗浄液と気体の混合流体を用い、該混合流体を前記研磨面に噴射することを特徴とする研磨装置の研磨面洗浄方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 622
, H01L 21/304
, B24B 55/06
H01L 21/304 622 M
, H01L 21/304 622 E
, B24B 55/06
