ペリクルの剥離方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112348
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305252
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】不要なペリクルをレチクルから剥離させる現在の方法は、レチクル表面上に溶剤による2次汚染が発生したり、レチクルに負担がかかるだけでなく、破損の危険性を有し、後続の洗浄工程の負担を増大させているので、これら諸問題を解決するペリクルの剥離方法が待望されている。【解決手段】ペリクルをレチクルから剥離させる際、ペリクルとレチクルの間の粘着剤層を加熱した状態で剥離させるペリクルの剥離方法。

請求項（抜粋）：

ペリクルをレチクルから剥離させる際、ペリクルとレチクルの間の粘着剤層を加熱した状態で剥離させることを特徴とするペリクルの剥離方法。

IPC (2件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 J , H01L 21/30 502 P

Fターム (3件)：

2H095BB31 , 2H095BB38 , 2H095BC31

引用特許：

審査官引用 (4件)

自動ペリクル除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-239366 出願人：株式会社ニコン
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-263412 出願人：信越化学工業株式会社
ペリクル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-103553 出願人：信越化学工業株式会社

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