特許

J-GLOBAL ID：200903067697735642

鉄を含む合金のパターン製造法

発明者： 木村 仁子 ,  川口 卓 ,  正岡 和隆
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132361
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328266
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 感光性樹脂組成物の鉄を含む合金(特に42ニッケル、ステンレス)への密着性、耐エッチング性、耐薬品性を向上させた鉄を含む合金のパターン製造法を提供する。【構成】 鉄を含む合金表面を有する基板に感光性樹脂組成物を積層し、露光、現像、エッチング、はく離し、前記鉄を含む合金のパターンを形成する工程において、現像後、エッチング前に活性光線を照射する工程を必須工程として行うことを特徴とする鉄を含む合金のパターン製造法。

請求項（抜粋）：

鉄を含む合金表面を有する基板に感光性樹脂組成物を積層し、露光、現像、エッチング、はく離し、前記鉄を含む合金のパターンを形成する工程において、現像後、エッチング前に活性光線を照射する工程を必須工程として行うことを特徴とする鉄を含む合金のパターン製造法。

IPC (5件)：

G03F 7/40 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 23/50

FI (5件)：

G03F 7/40 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 23/50 A ,  H01L 21/30 570

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レジスト膜の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162152   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 水溶性フォトレジストの硬膜処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169590   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開昭54-054704
  
• 塗膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-037707   出願人：関西ペイント株式会社