特許
J-GLOBAL ID:200903067720926736
BGA型半導体装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平田 忠雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-176936
公開番号(公開出願番号):特開平11-026632
出願日: 1997年07月02日
公開日(公表日): 1999年01月29日
要約:
【要約】【課題】 コストダウンを図ると共に、信頼性を向上させること。【解決手段】 スティフナ用金属シート2,絶縁ベースフィルム用絶縁テープ1,および配線パターン用金属シート3をラミネートした複合ラミネートシート13の配線パターン用金属シート3をエッチングして配線パターン3′を形成した。
請求項(抜粋):
平坦性および機械的強度を維持するスティフナと配線パターンを有した絶縁性ベースフィルムとを一体にし、前記スティフナと一体にされた前記絶縁ベースフィルムの所定の位置に半導体素子を配置して前記配線パターンと接続して成るBGA型半導体装置において、前記配線パターンは、スティフナ用金属シート,絶縁ベースフィルム用絶縁テープ,および配線パターン用金属シートをラミネートした複合ラミネートシートの前記配線パターン用金属シートをエッチングして形成された構成を有することを特徴とするBGA型半導体装置。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L 23/12 L
, H01L 23/12 Q
, H01L 23/14 M
引用特許: