特許

J-GLOBAL ID：200903067802993202

露光装置

発明者： 三輪 良則
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-321431
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133585
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 最小限のコストアップで露光光路の不活性ガス雰囲気への置換時間を短縮し、装置のスループット向上を図る。【解決手段】 遠紫外線もしくはエキシマレーザを光源とし、該光源からの光で基板を露光する露光装置において、前記光源から前記基板に至る露光光路中に配置される光学素子を1つもしくは2つ以上の容器内に収納し、前記容器には容器内全体を不活性ガス雰囲気に置換する第1の置換手段と、前記容器内に収納された光学素子の保持手段内部を不活性ガス雰囲気に置換する第2の置換手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

遠紫外線もしくはエキシマレーザを光源とし、該光源からの光で基板を露光する露光装置において、前記光源から前記基板に至る露光光路中に配置される光学素子を収納する1つもしくは2つ以上の容器と、前記容器内全体を不活性ガス雰囲気に置換する第1の置換手段と、前記容器内に収納された光学素子の保持手段内部を不活性ガス雰囲気に置換する第2の置換手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

Fターム (15件)：

5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27 ,  5F046DB14 ,  5F046DC02 ,  5F046DC07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-108178   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-344590   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045796   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-219469   出願人：株式会社ニコン