基板処理装置および基板処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大坪隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329527
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145052
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】処理不良が生じた基板を効果的に回収することにより、基板の処理を効率的に実行することができる基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】インターフェース部コントローラ21、24、スピンコータコントローラ22、スピンデベロッパコントローラ23、基板搬送ユニットコントローラ25または熱処理部コントローラ26のうちのいずれかが基板Wの処理不良の発生を検知することにより、基板WのIDデータにフラグを立て、このIDデータをメインコントローラ19に転送すれば、メインコントローラ19は、各コントローラに対してこのIDデータを転送する。また、メインコントローラ19は、基板搬送ユニット17の搬送アーム42を制御し、処理不良が生じた基板Wを第1のインターフェース部31に載置された不良基板回収カセット2に収納する。

請求項（抜粋）：

前工程から基板を搬入し、または、後工程に基板を排出するためのインターフェース部と、基板に薬液を供給することにより薬液処理する薬液処理ユニットを含む複数の処理ユニットと、前記インターフェース部に搬入された基板を前記薬液処理ユニットを含む複数の処理ユニットに順次搬送する搬送ユニットとを有する基板処理装置において、処理不良が生じた基板を収納するための前記インターフェース部に配設された不良基板回収カセットと、前記インターフェース部、各処理ユニットまたは搬送ユニットの動作不良に起因する基板の処理不良の発生を検知する検知手段と、前記検知手段により処理不良の発生を検知した場合に、前記搬送ユニットを制御することにより、処理不良が発生した基板を、直ちに前記不良基板回収カセットに収納する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/30 501 , H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 502 J , G03F 7/30 501 , H01L 21/68 A , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C

引用特許：

出願人引用 (6件)

リソグラフィー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-072598 出願人：株式会社ニコン
特開平1-227451
特開平1-179317

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審査官引用 (7件)

リソグラフィー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-072598 出願人：株式会社ニコン
特開平1-227451
特開平1-179317

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