特許

J-GLOBAL ID：200903067856546953

電磁ビームを検出するための装置

発明者： マンフレート ロートレイ ,  ローラント ミュラー-フィードラー ,  エーリヒ ツァブラー ,  ラールス エルトマン ,  ヴィルヘルム レネケ ,  マリオン ジモン ,  カールハインツ シュトルク ,  イェルク シーファーデッカー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ,  パーキンエルマー オプトエレクトロニクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-558558
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520819
出願日： 1999年06月26日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：

【要約】画像形成のために局所的分解能を有する、電磁ビームを検出するための装置(1)が提案される。この装置は安価に製造可能かつ取り付け可能である。このことは本発明によれば、マイクロメカニカルに製造可能な光学的結像システム(5)を設けることにより達成される。

請求項（抜粋）：

電磁ビームを検出するための装置であって、とりわけ画像発生センサに対して局所的分解能を有し、 半導体基板に取り付けられた検知構造体と、該検知構造体に対する保護窓とが設けられている形式の装置において、 マイクロメカニカルに製造可能な光学的結像システムが設けられている、ことを特徴とする装置。

IPC (5件)：

H01L 31/0232 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/02 ,  H04N 5/33 ,  H04N 5/335

FI (5件)：

H04N 5/33 ,  H04N 5/335 V ,  H01L 31/02 D ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B

Fターム (23件)：

4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118GA09 ,  4M118GA10 ,  4M118GD03 ,  4M118HA02 ,  5C024AX06 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024CY49 ,  5C024EX22 ,  5C024EX23 ,  5C024EX25 ,  5C024EX43 ,  5C024GX08 ,  5F088BA16 ,  5F088EA04 ,  5F088GA08 ,  5F088JA03 ,  5F088JA05 ,  5F088JA12 ,  5F088JA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開昭58-007887
  
• 特開昭58-007887
  
• オプトエレクトロニクス変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-073218   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• 固体撮像装置とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-176958   出願人：ソニー株式会社
• 赤外線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-269671   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭58-007887