特許
J-GLOBAL ID：200903067952237791
光学式絶対値エンコーダ及び移動装置
出願人/特許権者：
富士電機株式会社
富士電機株式会社 について
代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087824
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279384
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】高分解能化、スケール板(スリット円板)と受光素子との間隔の管理の容易化、および、絶対値化の3条件を共に満たす光学式絶対値エンコーダを提供する。また、この光学式絶対値エンコーダを用いて高精度の位置検出を実現する移動装置を提供する。【解決手段】M系列信号・第1内挿倍信号を得る第1発光素子22・第1受光素子23と、第2内挿倍信号を得る第2発光素子24・第2受光素子25とで、光学系を分離し、第2発光素子24・第2受光素子25では干渉縞を受光して第2内挿倍信号を高周波数化することで、高分解能化を実現した光学式絶対値エンコーダおよびこの光学式絶対値エンコーダを搭載した移動装置とした。
請求項（抜粋）：
光の透過と反射とを交互に行う第1、第2トラック、および、凹凸格子である第3トラックを有するスケール板と、第1トラックと第2トラックとに対向して配置される第1発光素子と、第3トラックに対向して配置される第2発光素子と、スケール板の第1トラックおよび第2トラックで反射された第1発光素子からの光を受光する第1受光素子と、スケール板の第3トラックで反射された第2発光素子からの光を受光する第2受光素子と、を備える光学式絶対値エンコーダであって、前記第1トラックはM系列の規定に基づいて光を透過または反射するM系列トラックであり、前記第2トラックは予め定められた周期ピッチで交互に光を透過または反射する第1内挿倍トラックであり、前記第3トラックは第2発光素子から照射される光の四分の一波長の深さの線状の格子を、第1内挿倍トラックの周期ピッチに対して1/N(Nは2以上の自然数)の長さの周期ピッチとなるように、配置した凹凸格子である第2内挿倍トラックであり、前記第1受光素子は、前記M系列トラックと対向する位置に配置され、M系列トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイを二群配置し、位相差πの信号を二信号得るM系列用の受光セルアレイと、前記第1内挿倍トラックと対向する位置に配置され、第1内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをm群(mは2の倍数)配置し、位相差π/2の信号をm信号得る第1内挿倍用の受光セルアレイと、を備える素子とし、前記第2発光素子は、第2内挿倍トラックと同じ周期の間隔を持つ明暗格子を介して光が照射される素子とし、前記第2受光素子は、第2内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをn群(nは2の倍数)配置し、位相差π/2の信号をn信号得る第2内挿倍用の受光セルアレイを備える素子とし、第1受光素子及び第2受光素子から出力された検出信号を組合せることで、絶対位置情報を得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
Fターム (25件)：
2F103BA37
, 2F103CA03
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA06
, 2F103DA11
, 2F103DA12
, 2F103DA13
, 2F103EA04
, 2F103EA05
, 2F103EA12
, 2F103EA15
, 2F103EA19
, 2F103EA20
, 2F103EB02
, 2F103EB06
, 2F103EB07
, 2F103EB08
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EB36
, 2F103EB37
, 2F103ED07
, 2F103FA05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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光学式絶対値エンコーダ
公報種別：公開公報 出願番号：特願2000-010147 出願人：富士電機株式会社 -
ロータリエンコーダ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-166501 出願人：株式会社小野測器 -
光学位置測定装置の走査ユニット
公報種別：公開公報 出願番号：特願2000-132331 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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