特許
J-GLOBAL ID：200903029288463062

光学位置測定装置の走査ユニット

発明者：
ライナー・ブルクシャット

ライナー・ブルクシャット について


出願人/特許権者：
ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング について


代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132331
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329585
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 目盛板の局部的な汚れが基準マークトラックの領域で誤った基準パルスを発生させことを防止し、目盛板の面に垂直な軸の周りで走査ユニットと目盛板が調整不良である場合でも、増分信号に対して基準パルス信号の空間的に不変な位置を保証することのできる、少なくとも一つの増分目盛トラック12と特定な少なくとも一つの基準位置xREF に二つの基準マーク13.1,13.2を有する目盛板10を測定方向xに走査するのに適した光学位置測定装置の走査ユニットを提供する。【解決手段】 走査ユニット20には、一つの光源21と、増分目盛トラック12の走査により位相のずれ部分増分信号を発生するように、互いに配置されている多数の増分目盛信号検出素子22.1〜22.8から成る光源21の周りに対称に配置された増分信号走査装置と、測定方向xに垂直に、しかもそれぞれ増分走査装置に対して隣接して配置され、出力基準パルス信号H′を発生する働きをする少なくとも二つの基準パルス検出素子24.1〜24.4とがある。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの増分目盛トラック(12)と特定な少なくとも一つの基準位置(xREF )に二つの基準マーク(13.1,13.2)を有する目盛板(10)を測定方向(x)に走査するのに適した光学位置測定装置の走査ユニットにおいて、走査ユニット(20)に以下の構成要素、-一つの光源(21),-増分目盛トラック(12)の走査により位相のずれ部分増分信号を発生するように、互いに配置されている多数の増分目盛信号検出素子(22.1〜22.8)から成る光源(21)の周りに対称に配置された増分信号走査装置、-測定方向(x)に垂直に、しかもそれぞれ増分走査装置に対して隣接して配置され、出力基準パルス信号(H′)を発生する働きをする少なくとも二つの基準パルス検出素子(24.1〜24.4),があることを特徴とする走査ユニット。
IPC (2件)：
G01D 5/36 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G01D 5/36 K ,  G01D 5/36 T ,  G01B 11/00 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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