特許
J-GLOBAL ID：200903068015129955
液晶表示体及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057946
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244009
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 平坦化能の無い層間絶縁膜形成の影響により、液晶が接する基板の平坦性が悪くなる、そのためラビング時の断線等がある。また平坦化能のある層間絶縁膜の場合、処理温度が高温になるためTFTの特性が落ち、表示の劣化がある。【解決手段】 低温硬化型ポリシラザンを塗布した後、300°C以下で焼成し層間絶縁膜とする。
請求項（抜粋）：
低温ポリシリコンTFT液晶表示体の層間絶縁膜を300°C以下の温度で処理、形成したことを特徴とする液晶表示体。
IPC (2件)：
G02F 1/1333 505
, G02F 1/136 500
G02F 1/1333 505
, G02F 1/136 500
