特許
J-GLOBAL ID：200903068353815562

メタルマスクの製造方法およびメタルマスク

発明者：
長崎 英夫

長崎 英夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-222766
公開番号（公開出願番号）：特開2006-037203
出願日： 2004年07月30日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】大型の基板上に高精度のパターンを形成可能なメタルマスクの製造方法およびメタルマスクを提供する。【解決手段】単位マスク本体12に所定の張力をかけて仮張り用枠体11の開口部11’を覆う状態で張設し、仮張り用枠体11の開口部11’の周縁に、単位マスク本体12を固着する工程と、単位マスク本体12側を支持枠体13に向けた状態で、単位マスク本体12が支持枠体13の一開口部13’を覆うように、仮張り用枠体11を支持枠体13上に配置する第2工程と、単位マスク本体12にかかる張力を維持したまま、支持枠体13の一開口部13’を覆う状態で、一開口部13’の周縁に単位マスク本体12を固着する第3工程と、支持枠体13の一開口部13’の周縁に固着された単位マスク本体12から、仮張り用枠体11を離す第4工程とを有することを特徴とするメタルマスクの製造方法およびメタルマスクである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の開口部が配列形成された支持枠体に、前記開口部を覆う状態で、開口パターンが設けられた単位マスク本体を前記開口部の周縁に固着するメタルマスクの製造方法であって、 前記単位マスク本体に所定の張力をかけて仮張り用枠体の開口部を覆う状態で張設し、前記仮張り用枠体の前記開口部の周縁に、前記単位マスク本体を固着する第1工程と、 前記単位マスク本体側を前記支持枠体に向けた状態で、前記単位マスク本体が前記支持枠体の一開口部を覆うように、前記仮張り用枠体を前記支持枠体上に配置する第2工程と、 前記単位マスク本体にかかる張力を維持したまま、前記支持枠体の一開口部を覆う状態で、当該一開口部の周縁に前記単位マスク本体を固着する第3工程と、 前記支持枠体の一開口部の周縁に固着された前記単位マスク本体から、前記仮張り用枠体を離す第4工程とを有する ことを特徴とするメタルマスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (8件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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