特許
J-GLOBAL ID:200903090786681094

マスク構造体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-154301
公開番号(公開出願番号):特開2005-339861
出願日: 2004年05月25日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】メタルマスクと基板との密着性を高めて、高精細で欠陥の少ない有機ELディスプレイパネルを製作することができるマスク構造体を提供する。【解決手段】メタルマスク1に引張り力を付与した状態で支持フレーム2に固定されるマスク構造体であって、メタルマスク1の開口エリアを囲むようにメタルマスク1と支持フレーム2との第一固定部3が存在し、該第一固定部3から支持フレーム2の外周部に向けて1箇所以上の固定部が存在する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
メタルマスクに引張り力を付与した状態で支持フレームに固定されるマスク構造体において、 前記メタルマスクの開口エリアを囲むように該メタルマスクと前記支持フレームとの第一固定部が存在し、該第一固定部から前記支持フレームの外周部に向けて1箇所以上の固定部が存在することを特徴とするマスク構造体。
IPC (4件):
H05B33/10 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14
FI (4件):
H05B33/10 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 G ,  H05B33/14 A
Fターム (8件):
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA01 ,  4K029HA03
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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