特許
J-GLOBAL ID：200903068477192520
無線周波数電力アプリケーションにおけるアークの検知および扱い
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-508000
公開番号（公開出願番号）：特表2008-538852
出願日： 2006年04月21日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
無線周波数電力供給システムは、RF電力生成器、アーク検知回路、およびアーク検知回路に応答する制御ロジックを備える。動的境界は、電力生成器から負荷まで伝達された電力を表すパラメータ、または該電力に関連付けられたパラメータの測定された値に関して計算される。パラメータの計算された動的境界を超える、次に計測されたパラメータの値は、アークの検知を示す。アークを検知したとき、アークが消滅するまで、発生器からの電力供給は一時中断されるか調整され、または他の措置がとられる。アーク検知境界の動的計算を採用することによって、本発明は、システムが定常電力供給状態に到達したかどうかに関わらず、RF電力供給システムにおけるアークの扱いを可能にする。
請求項（抜粋）：
無線周波数電力を負荷に供給する方法であって、
a)無線周波数電力を負荷に伝達するRF電力生成器を提供することと、
b)該RF電力生成器から該負荷までの該電力伝達に関連付けられたパラメータの値を測定することと、
c)該パラメータの値に関する動的境界を計算することと、
d)該パラメータの次の値を測定することと、
e)該パラメータの次の値が該動的境界を超える場合、アークの発生を示すことと
を含む方法。
IPC (4件)：
H05H 1/00
, H01L 21/306
, H01L 21/205
, H05H 1/46
H05H1/00 A
, H01L21/302 101G
, H01L21/205
, H05H1/46 R
, H05H1/46 L
4K029DC35
, 4K029EA06
, 4K029EA09
, 5F004AA01
, 5F004BD04
, 5F004BD05
, 5F004CA09
, 5F045AA08
, 5F045BB08
, 5F045GB08
