特許
J-GLOBAL ID：200903068522646554

露光方法及び露光装置

発明者：
吉村 圭司

吉村 圭司 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329293
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133216
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 高い加速度を与えること無く、走査速度の上限を上げ、ステージの機械的ストロークを縮小し、制御帯域を下げ、ステージの同期精度を向上させ、ステージの整定時間を縮小し、スループット向上を図る。【解決手段】 原版としてのレチクル16及び基板としてのウエハ18を各々のステージ15,17に保持して同調させながら走査し露光を行う露光方法であって、2次元の走査をする各ステージ15,17が加減速している際にも露光を行う。ステージ制御部20は、パルス光源タイミング生成部21にデータを送り、パルス光の発振タイミング指令をパルス光源1に発し、ステージ速度の現在の速度に比例して、露光中に光源1の照度を調整する。
請求項（抜粋）：
原版及び基板を各々のステージに保持して同調させながら走査し露光を行う露光方法において、2次元の走査をする各ステージが加減速している際にも露光を行うことを特徴とする露光方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502
FI (4件)：
G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 502 G
Fターム (14件)：
2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046AA28 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046DA02 ,  5F046DA08 ,  5F046DA11 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12
引用特許：
審査官引用 (4件)
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