ハイパワ-・レ-ザ封入容器内の水および有機分子に対するゲッタおよびその用途ならびにその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山元俊仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213678
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】ハイパワ-・レ-ザ封入容器内に不純物として存在しうる水および/または有機分子を不動化するゲッタ-を提供すること。【解決手段】水および/またはを約40ミクロンまでの寸法範囲の有機分子不動化するのに適した孔径またはチャンネルサイズを有するゼオライト組成で作成される。通信の分野でレ-ザ封入容器内でそのゲッタ-を使用できるようにするのに十分な強度を有するゲッタ-提供するためにバインダ-が用いられる。このバインダ-はまたレ-ザ封入容器の内部の清浄さを維持するために実質的にダストフリ-なゲッタ-体を与える。

請求項（抜粋）：

ハイパワ-・レ-ザ封入容器内の水および有機分子に対するゲッタ-であって、無機バインダ-と、成分WおよびOよりなるコンソリデ-トされた多孔質体よりなり、Wはゼオライト・タイプ3A、4A、5A、リンデ・タイプMゼオライト、方沸石、斜方沸石、毛沸石、オフレタイト、灰十字石、フェリライト、アルカリ金属、アルカリ土類、周期表第VA、VIA、VIIA、VIIIA、IB、およびIIBからの遷移金属のグル-プからの少なくとも1つの元素でイオン交換された前記ゼオライト・タイプのうちの任意のもの、およびこれらの化合物の組合せのグル-プから選択され、かつOは多孔性シリカ、多孔性バイコ-ル、活性炭、多孔性カ-ボン、活性アルミナ、多孔性アルミナ、モルデン沸石、クロベライト、MCM-22、MCM-41、ゼオライト・タイプZSM-5、X、Y、10A、およびベ-タゼオライト、およびこれらの化合物の組合せのグル-プから選択され、前記ゼオライト・タイプのいずれもが、アルカリ金属、アルカリ土類、周期表第VA、VIA、VIIA、VIIIA、IB、およびIIBからの遷移金属のグル-プからの少なくとも1つの元素でイオン交換されたゲッタ-。

IPC (2件)：

H01S 3/08 , H01S 3/094

FI (2件)：

H01S 3/08 Z , H01S 3/094 S

引用特許：

審査官引用 (24件)

特開平2-160046
特開平2-160046
放電励起型レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-186839 出願人：三菱電機株式会社

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