特許
J-GLOBAL ID：200903068576079604
極端紫外光発生装置の電極部
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-147782
公開番号（公開出願番号）：特開2006-324173
出願日： 2005年05月20日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】 極端紫外光発生装置において、高温になる部分における高融点材料の使用と、冷却を行なうための加工の容易性を兼ね備えた電極構造を実現すること。【解決手段】 放電電極11と接地電極12のそれぞれの電極を、プラズマに直接さらされる放電部1,4と冷却部2,5の2つの部分から構成し、放電電極11と接地電極12を、絶縁材13の両側に密着させて取り付け、電極を構成する。冷却部2,5は、銅またはアルミニウム等の容易な加工性と、良好な熱伝導性を兼ね備えた材料を用い、内部に冷却用流体か通過する通路を形成し、この通路に冷却用流体を流す。放電部1,4は、高融点材料であるタングステン、タンタル、レニウム、モリブデンまたはそれらを主成分とする合金のいずれかを用いて形成する。上記放電部1,4は高温高密度プラズマ発生部に面する側に設けられ、冷却部2,5の内壁に、その外壁を密着させて設ける。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
放電電圧印加電極と、接地電極と、上記放電電圧印加電極と接地電極とに接して設けられた絶縁材とから構成される放電電極間にプラズマを発生させ、該発生したプラズマから極端紫外光を取り出す極端紫外光発生装置の電極部において、
上記放電電圧印加電極と接地電極のそれぞれは、
銅またはアルミニウムまたはそれらを主成分とする容易な加工性と良好な熱伝導性を兼ね備えた材料を用い、冷却用流体が通過する空洞が形成された冷却部と、
該冷却部の表面に密着して設けられた、高融点材料であるタングステン、タンタル、レニウム、モリブデンまたはそれらを主成分とする合金のいずれかを用いた放電部とから構成されている
ことを特徴とする極端紫外光発生装置の電極部。
IPC (4件)：
H05G 2/00
, G21K 5/02
, H05G 1/02
, H01L 21/027
H05G1/00 K
, G21K5/02 X
, H05G1/02 P
, H01L21/30 531S
4C092AA04
, 4C092AA14
, 4C092AB10
, 4C092AC09
, 4C092EE05
, 5F046GC03
