媒質の測定装置および測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170493
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004538
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】装置の小型化、安定化、測定の高速化が可能で、測定対象物の屈折率と厚さの同時自動測定が可能な媒質の測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】コリメートされた低コヒーレンス光を検査光と参照光とに空間的に分離し2つの光路に分割するする光路分割手段と、光路分割手段により分離される検査光を対物集光レンズ9により集光し測定対象物10に照射する照射手段と、測定対象物10を保持搭載し検査光の光軸に平行に移動する測定対象物駆動手段11aと、光路分割手段により分離される参照光を光路長を調節する参照光光路長調節手段と、参照光を位相変調する位相変調手段と、位相変調された参照光と信号光とを干渉させ干渉光を生成する干渉光生成手段と、を備えた

請求項（抜粋）：

低コヒーレンス光を出射する光源と、前記光源より出射された低コヒーレンス光をコリメートするコリメートレンズと、コリメートされた低コヒーレンス光を検査光と参照光とに空間的に分離し2つの光路に分割する光路分割手段と、前記光路分割手段により分離される前記検査光を対物集光レンズにより集光し測定対象物に照射する照射手段と、前記測定対象物を保持搭載し前記検査光の光軸方向に移動する測定対象物駆動手段及び/又は前記対物集光レンズを保持搭載し前記検査光の光軸方向に移動する対物集光レンズ駆動手段と、前記光路分割手段により分離される前記参照光の光路長を調節する参照光光路長調節手段と、前記参照光を位相変調する位相変調手段と、位相変調された前記参照光と前記信号光とを干渉させ干渉光を生成する干渉光生成手段と、前記干渉光生成手段により生成された干渉光の強度を検出する受光素子と、を備えたことを特徴とする媒質の測定装置。

IPC (6件)：

G01N 21/27 , G01B 9/02 , G01B 11/06 , G01J 9/04 , G01N 21/23 , G01N 21/45

FI (6件)：

G01N 21/27 H , G01B 9/02 , G01B 11/06 G , G01J 9/04 , G01N 21/23 , G01N 21/45 A

Fターム (101件)：

2F064AA01 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064EE04 , 2F064FF03 , 2F064FF07 , 2F064GG04 , 2F064GG06 , 2F064GG12 , 2F064GG13 , 2F064GG16 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG24 , 2F064GG44 , 2F064GG45 , 2F064GG47 , 2F064GG52 , 2F064GG59 , 2F064GG65 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ05 , 2F065AA00 , 2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC00 , 2F065CC02 , 2F065CC16 , 2F065CC31 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065FF10 , 2F065FF52 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG07 , 2F065GG12 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ18 , 2F065LL00 , 2F065LL01 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL13 , 2F065LL14 , 2F065LL17 , 2F065LL30 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL62 , 2F065LL65 , 2F065MM02 , 2F065MM16 , 2F065NN02 , 2F065NN05 , 2F065NN20 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ01 , 2F065QQ02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059BB12 , 2G059BB15 , 2G059CC20 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059FF09 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK01 , 2G059KK02 , 2G059MM09 , 2G059MM11

引用特許：

審査官引用 (8件)

光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法及びそのための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-233863 出願人：科学技術振興事業団
光学的検査方法及び光学的検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-061763 出願人：株式会社ニコン
生物試料の光エコー検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-226197 出願人：株式会社ニコン

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