特許
J-GLOBAL ID：200903068657847070
位相分布測定方法およびそれを用いた位相分布測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291145
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115558
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 参照原画像又は参照画像を更新することにより特に高精度なアライメントを容易に達成できて、高精度で被測定干渉縞画像の位相分布を測定することができる位相シフト電子モアレ法を応用した位相分布測定方法及びそれを用いた位相分布測定装置を得ること。【解決手段】 被測定物によって形成する被測定光と参照面によって形成する参照光とを干渉させて多数の干渉縞を発生させて空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像と、該搬送波の空間周波数と略等しい周波数を持つ参照原画像から初期位相の異なる複数の参照画像を作成し、該被測定干渉縞画像と該参照画像とを用いて演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を測定する際、該参照原画像又は該参照画像を更新することにより該被測定物と該参照面とのアライメントを行う。
請求項（抜粋）：
被測定物によって形成する被測定光と参照面によって形成する参照光とを干渉させて多数の干渉縞を発生させて空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像と、該搬送波の空間周波数と略等しい周波数を持つ参照原画像から初期位相の異なる複数の参照画像を作成し、該被測定干渉縞画像と該参照画像とを用いて演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を測定する際、該参照原画像又は該参照画像を更新することにより該被測定物と該参照面とのアライメントを行うことを特徴とする位相分布測定方法。
IPC (3件)：
G01J 9/00
, G01B 9/02
, G01M 11/02
G01J 9/00
, G01B 9/02
, G01M 11/02 B
