特許
J-GLOBAL ID：200903068775291043
加速度センサとその測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池条 重信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205953
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033478
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 すぐれた裸特性が得られ、振動子構造が基本的に空気の粘性抵抗を受けない構成からなる静電容量型の加速度センサ。【解決手段】 空気の粘性抵抗を受けることがないように、振動子を見掛け上、不動化させる手段として、実質的にコンデンサを形成している固定基板と可撓基板との間に弾性体を介在させ、弾性体による所要の反力を設定した構成を採用し、弾性体の反力を打ち消すようにベース電圧を印加して振動子(可撓基板)を吸引し、基板が振動しないように制御しておき、該基板に外力が作用して吸引側、反発側のいずれかに変位しようとする際、これに対向する力を作用させるために、前記ベース電圧を昇降させて基板が変位しないようにすると、駆動に要した電圧とベース電圧との差が作用した外力に相当すると判断でき、基板を振動させることなく入力が検知できる。
請求項（抜粋）：
静電容量型加速度センサの構成において、固定基板と可撓基板との間に弾性体を介在させた加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, G01P 15/00 K
