ロードポート、半導体製造装置、半導体製造方法、及びアダプタの検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-118801
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318244
出願日： 2002年04月22日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置の大型化を招くことなく、簡素な構成にてアダプタの有無を検出すること。【解決手段】FOUP21a,21bにはアダプタ25の装着時と非装着時とで異なるサイズの半導体ウェーハWが収納され、FOUP21a,21bは、ロードポート11,12に載置されている。ロードポート11,12は半導体製造装置1の前面に配置され、FOUPオープナ14によりFOUP21a,21bの蓋が開けられた後、FOUP21a,21bに収納されている半導体ウェーハWが半導体製造装置1に搬入される。FOUPオープナ14の上部にはアダプタ検出センサ17が配置され、同アダプタ検出センサ17によりFOUP21a,21b内のアダプタ25の有無が検出される。アダプタ検出センサ17による検出結果は半導体製造装置1の制御ユニット5に通知される。

請求項（抜粋）：

アダプタの装着時と非装着時とで異なるサイズの半導体ウェーハを収納するフロントオープンタイプのポッドが載置され、該ポッドから前記半導体ウェーハを取り出すために前記ポッドの蓋を開閉する蓋開閉器が配設されたロードポートであって、前記アダプタの有無を検出するアダプタ検出センサを備え、該アダプタ検出センサによる検出結果を出力するようにしたことを特徴とするロードポート。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00 , B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 L , H01L 21/68 T , B65G 49/00 C , B65G 49/07 L

Fターム (27件)：

5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA02 , 5F031JA05 , 5F031JA06 , 5F031JA21 , 5F031JA23 , 5F031JA32 , 5F031JA51 , 5F031KA14 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031MA33 , 5F031NA02 , 5F031NA10 , 5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (3件)

基板カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161867 出願人：株式会社ニコン
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-311518 出願人：株式会社ニコン
カセット内ウエフア検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-009870 出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社

審査官引用 (3件)

基板カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161867 出願人：株式会社ニコン
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-311518 出願人：株式会社ニコン
カセット内ウエフア検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-009870 出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社

前のページに戻る