圧力センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-228998
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272293
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】ブリッジ回路の抵抗値が故障により変化した場合に、確実に故障を検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力印加で抵抗値変化しない抵抗RE、RFにより基準電位を発生するように構成した基準電位発生回路2を、ブリッジ回路の一端側および他端側に並列接続する。ブリッジ回路の2つの中点B、Cにおける電位差VBCと、中点B、Cにおける電位と基準電位発生回路2の基準電位との電位差VCE、VBEとを比較することにより、ブリッジ回路の故障判定をする。

請求項（抜粋）：

半導体基板(1)に設けられた薄肉部(2)への圧力印加に伴い抵抗値変化を生じるゲージ抵抗(RA〜RD)によって形成された圧力検出用のブリッジ回路(10)を有する圧力センサであって、前記圧力印加で抵抗値変化しない抵抗(RE、RF)により基準電位を発生するように構成した基準電位発生回路(11、12)を、前記ブリッジ回路の一端側および他端側に並列接続し、前記ブリッジ回路の2つの中点(B、C)における電位差(VBC)と、前記中点における電位と前記基準電位発生回路の基準電位との電位差(VCE、VBE)とに基づいて、前記圧力検出用ブリッジ回路の故障判定をすることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 9/00 E , H01L 29/84 B

Fターム (22件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF45 , 2F055FF49 , 2F055GG16 , 2F055GG31 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112BA07 , 4M112CA05 , 4M112CA10 , 4M112CA12 , 4M112DA17 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112FA11 , 4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (5件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366458 出願人：株式会社デンソー
センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-507077 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
特開平3-037503

全件表示

審査官引用 (5件)

力または荷重検出センサの故障診断装置及びその自己復帰装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-357874 出願人：大和製衡株式会社
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366458 出願人：株式会社デンソー
センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-507077 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

全件表示

前のページに戻る