特許
J-GLOBAL ID:200903068975542067

面発光レーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-339121
公開番号(公開出願番号):特開2000-164982
出願日: 1998年11月30日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】 面発光レーザが、より安定してレーザ発振できるようにする。【解決手段】 DBR107上に、不純物としてZnをドープしたp形のInGaPからなる厚さ64nmの保護層108を備える。この保護層108は、光学長がレーザの発振波長λの1/4となっている。
請求項(抜粋):
GaAsからなる基板上に形成された第1導電形を有する第1の分布型ブラッグ反射鏡と、この第1の分布型ブラッグ反射鏡上に形成された活性層と、この活性層上に形成された第2導電形を有する第2の分布型ブラッグ反射鏡と、この第2の分布型ブラッグ反射鏡上に形成された第2導電形のInGaPからなる保護層と、この保護層上に部分的に形成されたGaAsからなるオーミックコンタクト層と、このオーミックコンタクト層にオーミック接合して形成された金属からなる上部電極と、前記基板裏面にオーミック接合して形成された金属からなる下部電極とを備え、前記第1の分布ブラッグ反射鏡は、第1導電形のAlGaAsからなる第1の半導体層とこの第1の半導体層および異なるアルミニウム組成を有して前記第1の半導体層より高い屈折率の第1導電形のAlGaAsからなる第2の半導体層とが交互に積層され、前記第2の分布ブラッグ反射鏡は、第2導電形のAlGaAsからなる第3の半導体層とこの第3の半導体層および異なるアルミニウム組成を有して前記第3の半導体層より高い屈折率の第2導電形のAlGaAsからなる第4の半導体層とが交互に積層され、その最上層には、前記第3の半導体層が配置され、前記第1〜第4の半導体層および前記保護層の光学長は、前記活性層より得られる発振光の波長の1/4に形成されたことを特徴とする面発光レーザ。
Fターム (9件):
5F073AA51 ,  5F073AA74 ,  5F073AB05 ,  5F073AB17 ,  5F073BA01 ,  5F073CA04 ,  5F073CB10 ,  5F073DA22 ,  5F073DA30
引用特許:
審査官引用 (5件)
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