特許
J-GLOBAL ID：200903068988962421
電子放出素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098016
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297222
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：
【要約】【課題】 低電圧で高効率の電子放出性を有する冷陰極型電子放出素子、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の電子放出素子1は、基材を切削加工することにより基部11と突起部12を形成し、この突起部上にカーボンナノチューブ123を形成してなる。その製造方法は、基部上に形成される突起部を炭化珪素で作成し、或いは、この突起部に炭化珪素膜を形成し、この炭化珪素を、真空中あるいは微量酸素を含有する雰囲気において炭化珪素表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、この炭化珪素から珪素原子を除去する。
請求項（抜粋）：
導電性基材を切削加工することにより、導電性基部上に多数の導電性突起部を形成してなることを特徴とする電子放出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
5C127AA01
, 5C127AA02
, 5C127AA20
, 5C127BA05
, 5C127BA06
, 5C127BA13
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127BB15
, 5C127CC03
, 5C127DD62
, 5C127DD69
, 5C127EE02
, 5C135AA05
, 5C135AA06
, 5C135AA13
, 5C135AA15
, 5C135AA20
, 5C135AB07
, 5C135AB15
, 5C135AC02
, 5C135HH02
