特許
J-GLOBAL ID:200903049651832599

電界放出型冷陰極及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-089369
公開番号(公開出願番号):特開2000-285799
出願日: 1999年03月30日
公開日(公表日): 2000年10月13日
要約:
【要約】【課題】 電界放出の均一性や電界放出効率に優れ、生産性の高い電界放出型冷陰極を得る。【解決手段】 基板11表面を複数の方向に切削することにより、複数の切削部13に囲まれた領域を電界放出型冷陰極のエミッタ15として形成する。
請求項(抜粋):
基板表面を複数の方向に切削することにより、複数の切削部に囲まれた領域をエミッタとして形成することを特徴とする電界放出型冷陰極の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  H01L 29/66
FI (2件):
H01J 9/02 B ,  H01L 29/66
引用特許:
審査官引用 (6件)
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