特許
J-GLOBAL ID：200903069133778840
素子製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤田 考晴
, 上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287271
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100707
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】 新規素子の開発リードタイムを短縮するとともに、さまざまな種類の材料を用いて開発・製造コストを低減し、かつ、素子の小型化・微細化を図ることができる素子製造装置を提供する。【解決手段】 基板2を内部に収容する容器3と、基板2上に成膜される所定膜種の膜の材料となる原料ガスGを、容器3内に供給するガス供給手段11と、基板2に励起線Eを照射する複数の励起線源4と、基板2と励起線Eとを相対移動させる移動手段6と、所定膜種の膜の成膜位置および成膜状態を検出する成膜検出手段12と、を備えることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を内部に収容する容器と、
前記基板上に成膜される所定膜種の膜の材料となる原料ガスを、前記容器内に供給するガス供給手段と、
前記基板に励起線を照射する複数の励起線源と、
前記基板と前記励起線とを相対移動させる移動手段と、
前記所定膜種の膜の成膜位置および成膜状態を検出する成膜検出手段と、
を備えることを特徴とする素子製造装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, C23C 16/452
H01L21/205
, C23C16/44 G
, C23C16/452
4K030AA06
, 4K030BA29
, 4K030CA04
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030EA03
, 4K030EA04
, 4K030FA12
, 4K030GA08
, 4K030LA12
, 5F045AA14
, 5F045AB02
, 5F045AB32
, 5F045AC00
, 5F045AC01
, 5F045AC03
, 5F045AC05
, 5F045AC11
, 5F045AC15
, 5F045AD04
, 5F045AD05
, 5F045AE05
, 5F045AE07
, 5F045AF07
, 5F045BB08
, 5F045BB10
, 5F045DP03
, 5F045DQ10
