特許
J-GLOBAL ID：200903069165485446
微細加工振動構造及び関連するマイクロ・ジャイロスコープ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
, 岡澤 順生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-544490
公開番号（公開出願番号）：特表2007-514947
出願日： 2004年12月13日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
本発明は、固定支持材(6)に接続された固定端(5)と、進行波又は定在波が生成される振動構造(4)の振動壁(7)を形成する、好ましくは側壁(7)を有する円筒形の中空シェルと、を備える微細加工振動構造(4)に関する。中空シェルは、振動構造(4)に関する固定端(5)を形成する基部と、自由端(9)とを備える。自然分離領域が、中空シェルの固定端(5)と自由端(9)の間に配置される。
請求項（抜粋）：
固定支持材(6)に安定した形で接続された固定端(5)と、
進行波又は定常波が生成され、基部(8)及び自由端(9)を備え、中空シェルの側壁によって形成された、少なくとも1つの振動壁(7)と、を備えた微細加工振動構造であって、
前記固定端(5)が、前記中空シェルの前記基部(8)によって形成され、自然分離ゾーンが、前記振動壁(7)の前記固定端(5)と前記自由端(9)との間に位置することを特徴とする振動構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2F105BB01
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD01
, 2F105CD05
, 2F105CD13
