特許
J-GLOBAL ID：200903069168329470
表面凹凸像同時計測型光電子検出装置及び検出方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323719
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181150
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】観察試料の制約がなく表面凹凸像を同時に観察しながら、高い空間分解能で局所的な光電子検出を行う。【構成】試料からの光電子を受容する探針の内部、好ましくは中央部から試料へ光を照射する構成とし、探針自体に試料への光の照射と試料からの光電子の捕獲という二つの機能をもたせると共に、STM探針の代わりに原子間力顕微鏡(AFM)で用いられる探針付きカンチレバーを用いることによってさらに試料の凹凸形状の計測をも可能とし、3つの機能をもたせる構成とした。そして、探針の内部から試料へ光を照射し、試料から生ずる光電子を該探針により受容し、探針と試料との間に流れる電流量を検出して電流量の情報を表示すると共に、カンチレバーによる探針の試料に対する付勢力を検出することによって、試料と凹凸形状をも同時に表示する。
請求項（抜粋）：
試料からの光電子を受容する探針と、該探針の内部から前記試料へ光を照射する光照射手段と、先端部に該探針を有するカンチレバーと、該探針の試料に対する付勢力を検出する付勢力検出手段と、前記探針を試料に対して相対的に移動させる移動手段と、前記探針と前記試料との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記探針の受容する光電子により該探針と前記試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記付勢力検出手段に基づく試料の凹凸形状情報と前記電流検出手段により検出された電流の情報を表示する表示手段とを有することを特徴とする表面凹凸像同時計測型光電子検出装置。
引用特許：
前のページに戻る
