特許
J-GLOBAL ID：200903069222574442

レーザ加工装置及び方法

発明者：
山崎 和則

山崎 和則 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 牧野 剛博 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-373631
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176006
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】 レーザビームのパルス形状を簡易に制御することができ、レーザ出力の安定性を高めることができるレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 制御用コンピュータ60から各固体レーザ装置21〜24に適当なタイミングでトリガ信号を出力して、各固体レーザ装置21〜24から適当な時間差及び偏光面でレーザビームL11〜L22を出射させる。各レーザビームL11〜L22は、結合光学系30で結合され、僅かに離れて並進する2組のレーザビームL1、L2となる。両レーザビームL1、L2は、テレスコープ光学系40を経て平行光束のままビーム径が拡大されて空間的に重ね合わされる。テレスコープ光学系40を経たレーザビームL1、L2は、ホモジナイザ50によって6×6の2次光源に分解され、加工面IS上に重畳して入射する。
請求項（抜粋）：
パルス状のレーザビームを発生する複数の固体レーザ装置を有する光源装置と、前記光源装置からの複数のレーザビームを重畳して対象面に入射させる合成光学系と、前記複数の固体レーザ装置の動作タイミングを調整して所定の時間的波形を有するパルスを形成するタイミング調整装置と、を備えるレーザ加工装置。
IPC (5件)：
H01L 21/268 ,  B23K 26/06 ,  H01L 21/20 ,  H01S 3/00 ,  B23K101:40
FI (6件)：
H01L 21/268 J ,  B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 C ,  H01L 21/20 ,  H01S 3/00 B ,  B23K101:40
Fターム (20件)：
4E068CA03 ,  4E068CA07 ,  4E068CB10 ,  4E068CD02 ,  4E068CD04 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08 ,  5F052BA11 ,  5F052BB03 ,  5F052DA01 ,  5F072AB15 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK05 ,  5F072KK12 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072SS06 ,  5F072YY08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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