特許
J-GLOBAL ID：200903069244515660
電子源及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093404
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 真空排気及び真空維持が容易で、かつ低電圧で高い放出電流密度が可能な冷陰極電子源を用いたデバイスを安価に提供する。【解決手段】 冷陰極電子源は、低電界で電子放出が可能となるカーボンナノチューブ等の冷陰極材料を用い、必要な構成部品を各々の未焼性セラミックシート(グリーンシート21,43,46)に設け、それらを積層焼成して一体化した構造とし、また、その製造方法は、平板にスルーホール20をあけ、そのスルーホール20にカーボンナノチューブ31を分散させた導電ペースト30を吸引して充填することにより、カーボンナノチューブ31をスルーホール20方向に容易に配向させて製造する。
請求項（抜粋）：
少なくともカソード電極、エミッタ部を設けた第1の層と、制御電極を設けた第2の層とがシート状に積層され、その上部にスペーサを配置し、前記第1の層及び第2の層が焼成され、更に該スペーサを上部に配して一体化形成されたことを特徴とする電子源。
IPC (3件)：
H01J 1/304
, H01J 5/03
, H01J 9/02
H01J 5/03
, H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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